凈化工程設計過程中，應加強對光學微電子行業凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況，同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力,設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。

　　1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

　　這是一個傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

　　優點：

　　A.空氣處理效果好，因空氣經過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;

　　B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

　　C.空調冷熱源可與廠房普通空調系統合用或獨立冷熱源;

　　D.維修頻率較低;

　　E.車間的噪音低。

　　缺點：

　　A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30┫的機房的;

　　B.造價高。

　　特點：

　　A.建議新風經過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

　　B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

　　2、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓風柜+高效送風口

　　與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內，增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。

　　優點：

　　A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行控制;

　　B.布置靈活。自帶冷源;

　　C.大小廠房、新舊廠房都適用;

　　D.維修頻率較低;

　　E.車間噪音低。

　　缺點：

　　A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

　　B.空調機組與空調處理機組要集中布置;

　　C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

　　3、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之分體空調柜機++FFU送風口

　　這是簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。

　　優點：

　　A.不需要占用機房面積，布置很靈活的;

　　B.可以滿足空氣的潔凈度;

　　C.造價低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;

　　D.送風均勻度好。

　　缺點：

　　A.溫濕度控制較差;

　　B.可以滿足空氣的潔凈度;

　　C.FFU的維修頻率高。